SEM 원리, 주사전자현미경 작동 원리

SEM 원리, 주사전자현미경 작동 원리

 

안녕하세요. 쎄크 입니다^^

오늘은 쎄크의 Mini－Sem(탁상형 주사 전자 현미경)을 움직이게 하는

SEM(주사 전자 현미경)의 원리에 대해 알려 드리려고 하는데요.

<이미지 출처: 쎄크>

 

처음 SEM(주사 전자 현미경)을 접하는 분들을 위해

SEM(주사 전자 현미경)이란 무엇이고 어떻게 작동하는지

차근차근 쉽게 알려드리도록 할게요.

 

 

<이미지 출처: 쎄크>

 

SEM(주사 전자 현미경)이란?

 

현미경은 크게 대물 렌즈 및 접안렌즈라고 불리는 2조의 렌즈를 이용해

물체를 확대하여 관찰하는 광학 현미경,

광선 대신 전자선, 광학렌즈 대신 가변전자장을 이용하는 전자렌즈로

미세한 구조체에 대한 확대상을 얻는 전자 현미경으로 구분되는데요.

 

다시 전자 현미경은 투과 전자 현미경(TEM)과

주사 전자 현미경(SEM)으로 나뉩니다.

주사 전자 현미경(SEM)은 말 그대로 주사 전현의 상(Scanning Electron Microscope)을 화상으로 볼 수 있는 장치를 뜻한답니다.

 

 

<이미지 출처: 쎄크>

 

SEM 원리, 주사전자현미경 작동 원리

 

앞서 주사 전자 현미경은 투과 전자 현미경과 함께 대표적인

전자 현미경의 종류라고 말씀 드렸는데요.

TEM이 표본을 투과한 전자선이 산란하면서 생기는 흑백 이미지를 통해 평면상 또는 단면상의 2차 원상을 그리는 데 반해

SEM(주사 전자 현미경)은 표본의 표면을 전자선으로 Scan하여표면에서

발생하는 2차 전자를 검출해 CRT에 화상으로 나타냅니다.

즉, SEM은 깊은 초점심도를 이용해 3차원의 상을 얻을 수 있다는 점이 장점입니다.

 

 

<이미지 출처: 쎄크>

 

쎄크의 탁상형 주사전자현미경(Mini－Sem)도 위와 같이

'전자 빔을 시료에 주사 → 표면에서 발생한 2차(SE) 전자 검출 →

영상 신호로 전환하여 이미지 구현'

순서로 진행되는 일반적인 SEM 원리를 따르는데요.

 

주사 전자 현미경은 금속, 반도체, 생체 시료 조직 관찰 등

거의 모든 분야에서 광학 현미경의 영역을 대체하고 있을 뿐만 아니라

분석 장비로서도 끊임없이 영역을 확대 진화하고 있답니다.