안녕하세요. 쎄크 입니다^^
쎄크는 전자빔이 샘플의 표면에 주사하여, 샘플과의 상호작용에 의해 발생된
SE를 이용해서 샘플의 표면을 관찰하는 장비인 SEM(주사전자현미경)을
선보이고 있습니다. SEM(주사전자현미경)은 빛 대신 전자를 사용하여 물체의
확대상을 만드는 장치로 형상, 적층 결함, 계면 등 직접 관찰하여 재료 각각의
성질들이 미치는 영향에 대해 규명할 수 있습니다.
■ SEM(주사전자현미경) 이미지 생성 원리
- 전자빔으로 확대 관찰할 영역을 스캔후, TV 스크린에 전송한다. - 전자빔을 반사시켜 패턴을 형성한다는 점이 CRT의주사 형태와 동일 - 시료위에서 수평 천개의 점, 수직 천개의 라인을 형성하며 전자빔을 주사하여 백만개의 정보를 제공한다. - TV 스크린에도 동일한 형태로 백만개의 점이 형성되므로, 시료의 주사표면과 TV화면은 1:1 대응 - 주사 영역이 TV 스크린보다 작기 때문에 배율=TV 주사 길이/전자빔 주사 길이의 식으로 계산 된다. - TV 스크린 크기를 고정하면, 전자빔 스캔 영역이 작을수록 배율은 더욱 높아진다 |
■ 쎄크 주사전자현미경
SNE-3200M SNE-3000MB
광학 현미경의 분해기능은 고작 0.5μm이기 때문에, 원리적으로 뛰어넘을 수 없는
한계지만, 전자 현미경은 전자기파의 파장이 광파에 비해 훨씬 짧아 가능 합니다.
또한 주사 전자현미경에는 주로 시료 표면의 정보를 얻을 수 있고 시료의
두께, 크기 및 준비에 크게 제한 받지 않습니다.
■ 전자현미경 기능으로 얻을 수 있는 정보
1) Topography
물체 표면의 형상을 관찰할 수 있습니다.
2) Morphology
물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기를 관찰할 수 있습니다.
3) Composition
물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양을 분석할 수 있습니다.
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