본문 바로가기

기술정보/X-ray 기술소개

주사전자현미경 기능

주사전자현미경 기능

 

 이미지 : 쎄크

 

  안녕하세요. 쎄크 입니다^^ 

오늘은 주사전자현미경의 기능과 쎄크의 주사전자현미경 제품을

소개해드리도록 하겠습니다.

먼저 주사전자현미경이란 SEM으로 약기. 시료 표면을 전자선으로 주사하여

입체 구조를 직접 관찰하는 기능을 가진 전자현미경을 말합니다.

 


이미지 : 쎄크

 

주사전자현미경에서는 주로 시료 표면의 정보를 얻을 수 있고 시료의

두께, 크기 및 준비에 크게 제한을 받지 않습니다.

주사전자현미경은 광학현미경에 비해 집점심도가 2배 이상 깊고, 또한

광범위하게 집점을 맞출 수 있어 입체적인 상을 얻는 것이 가능합니다.

 

그렇다면 주사전자현미경의 기능에는 어떤 것들이 있는지 살펴볼까요

 

 

이미지 : 쎄크

 

 

주사전자현미경은 일정한 부위에 주사한 전자선과 상을 맺는데

이용한 광선의 에너지에 따라 상을 얻으며

필라멘트로부터 나온 전자가 콘덴서 렌즈에 의하여 응축된 전자선을 형성하면서

이 전자선이 시료의 표면을 두 쌍의 scanning coil에 의해 반복하여

조사하면서 가로, 세로 모양의 전자선을 받게 됩니다.

그와 동시에 generator의 전류가 음극관의 scanning coil을 통하여

시료표면에서와 동일하게 확대된 선을 만들면서 확대된 상이 CRT에 맺혀집니다.

따라서 높은 해상력과 함께 시료에 대한 풍부한 정보를 얻을 수 있습니다.

 

 

 

 

이미지 : 쎄크

 

 

 

주사전자현미경은 20~300,000 배 정도의 넓은 영역에서의 확대가 가능합니다.

그러나 생물 시료인 경우에는 50,000배 이상에서 선명한 상을 얻기 힘듭니다.

 

 

 

 

이미지 : 쎄크

 

 

 

 

이미지 : 쎄크

 

 

쎄크의 주사전자현미경 SEM-5000M 은 최대배율 300,000배 구현가능하며

* 1kV TO 30kV Variable Accelerating Voltage - X,Y (80mm),

R (360˚), Z(0~30mm), Tilt (-20~90˚)

* 5-axis Full Automatic (Auto Door) - 버튼 클릭으로 자동위치 이동 (Navigation)

* CCD Camera 장착으로 Chamber 내부 관찰

* 자체 시스템 진단 기능 (진공계측구현)

* Flexible System (EDX, EBSD, WDS, BSED) 이 갖춰진 제품입니다.

생물학이나 의류, 섬유, 식물, 재료, 소재. 반도체 관련등

다양한 곳에서 사용이 가능합니다.