쎄크의 산업용검사장비 X-Ray Inspection System 기술소개

안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조·검사장비 전문기업 쎄크입니다.

오늘은 쎄크의 X-Ray Inspection System 기술을 소개해 드리려 합니다.

 

 

 

 

Tube는 X-ray발생장치로서 Open tube와 Closed tube 두 가지 타입이 있습니다.

 

Closed tube

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- 제조 과정에서 진공이 생성

- 내부 부품들에 대한 접근 불가

- 반사(Reflective) Target을 사용

- Tube 수명종료 시 Full set 교환

 

Open tube

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- Closed Tube에 비해 더 높은 배율, 더 좋은 Resolution과 실용성

  (소비 아이템인 Target과 Filament 교체가능)

- 시스템에 장착된 진공 펌프에 의해 진공형성

- 반 영구적인 사용 가능

- 투과(Transmissive) Target 사용

 

 

 

Detector

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X-ray를 가시광선으로 변환시키며 Image intensifier 와

Flat panel detector가 있습니다.

 

- X-Ray는 피사체를 통과하면서 조직의 구성이나 두께에 의해 감약

⇒ 투과된 X-Ray의 에너지를 측정

- X-Ray 광자의 에너지를 빛으로 바꾼 후 다시 전류로 변환

 

 

 

 

Image intensifier

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1) X-Ray는 X-Ray 고전송과 저확산성의 알루미늄(Al) 금속 입력창을 통해 입사

2) 인광체 스크린(Scintillator)에 의해 흡수되어 빛 이미지로 전환

3) 관전음극(Photocathode)에 의해 빛 이미지는 광전자 이미지로 전환

4) DC 전압에 의해 광전자가 가속

5) 전기 렌즈(전기장)에 의해 Focusing

6) 출력 인광체 스크린은 광전자 이미지를 다시 가시적인 빛의 이미지로 전환

7) Scintillation detector의 경우 Vision camera가 필요함

 

* Vision camera (CCD camera 사용)

- Charge-Coupled Devices

- 빛을 전하(Electrical Charge)로 변환

- 2차원 배열로 구성될 경우, 빛의 공간정보를 기록 가능(Imaging System)

 

 

 

 

Flat panel detector

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a-Si : H 방식

 

1) Scintillator : X-Ray Signal을 가시광선으로 전환

2) a-Silicon Detector : 비정질 반도체이며 가시광선을 전기적 신호로 변환

3) TFT (Thin-Film Transistor) : 각 화소(Pixel)에 저장된 신호를

   Optic Fiber를 이용하여 고속으로 컴퓨터에 전달하는 역할

 

a-Se방식

1) a-Selenium Detector : X-Ray를 전기적 신호로 변환

2) TFT (Thin-Film Transistor) : 각 화소(Pixel)에 저장된 신호를 Optic Fiber를

   이용하여 고속으로 컴퓨터에 전달하는 역할

 

 

 

 

Manipulator

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제품 원격 조정을 위한 Robot Table X축, Y축, Z축, Tilt, Rotaation을 구동합니다.

㈜쎄크 장비에는 AFT™ 라는 기능으로, manipulator 구동 시 생기는

옵셋거리를 보정할 수 있습니다.

 

엑스레이의 누설을 막음으로써 안전하게 X-ray inspection system의 누설선량은

1 uSv/h 이하이므로 안전하게 사용할 수 있습니다.

 

지금까지 쎄크의 산업용검사장비 X-Ray Inspection System

기술소개 였습니다.

궁금하신 사항이 있으신 분들은 쎄크 홈페이지로 접속 바랍니다^^