산업용엑스레이전문 쎄크 전자현미경 2차전자

"산업용엑스레이전문 쎄크

전자현미경 2차전자"

 

이미지 : 쎄크

 

 

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여러분은 전자현미경의 2차전자에 대해 알고 계시나요?

2차전자(SE; Secondary Electron)란

1차 방사선(X－선, γ－선 등)과

물질과의 상호작용에 의해 발생하는 전자로

 광전 효과나 컴프턴 산란 등에 의한 광전자나 되튐 전자

(recoil electron, Compton electron) 등이 여기에 해당됩니다.

 

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이미지 : 쎄크

 

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빔 전자와 비 탄성 충돌로 얻어진 에너지에 의해

시료표면에서 발생하는 전자를 말하는데요

활성화 된 빔 전자와 약하게 진동하는 금속 중의 상호작용으로 발생하게 됩니다.

빔 전자에 포함된 에너지양은 시료의 전자에 비해 매우 작으므로

소량의 운동 에너지만이 2차전자로 전이 됩니다.

 

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이미지 : 쎄크

 

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2차전자는 빔 전자들이 원자핵이 아닌 원자 내 전자들과 상호작용을 합니다.

음전하를 갖는 전자 상호간 반발력이 작용하게 되는데

빔 전자가 원자에 충돌하여 속도가 떨어지며,

그 에너지가 시료원자에 반발력으로 작용하며

시료원자가 표면 밖으로 튀어나갑니다.

 

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이미지 : 쎄크

 

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2차전자는 BSE와는 달리 시료 이탈 후 저속으로 운동하며,

양으로 대전된 SE Detector 로 끌어 당겨집니다.

이 현상을 이용하여 진공청소기가 입자를 빨아들이듯이 전자를 수집합니다.

평면과 모서리까지도 발생된 전자를 수집하므로 2차전자

상은 입체적으로 볼 수 있습니다

 

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