쎄크 SEM의 원리와 Column Chamber의 구조

쎄크 SEM의 원리와 Column Chamber의 구조

 

안녕하세요. 쎄크 입니다^^

오늘은 SEM(Scanning Electron Microscope) 주사전자현미경의 원리와

Column 및 Chamber 구조에 대해 설명해 드릴까 합니다.

 

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SEM(Scanning Electron Microscope) 주사전자현미경의 원리

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SEM(Scanning Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에

주사하면서 Sample과의 상호작용에 의해 발생된 SE(Secondary Electron)를

이용해서 Sample의 표면을 관찰하는 장비입니다.

 

전자 빔을 시료에 주사하면 표면에서 발생한 2차 SE 전자를 검출하고

영상신호로 전환하여 이미지를 구현하는 원리입니다.

 

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 SEM의 Column 및 Chamber 구조

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전자빔의 경로

1. 상단의 전자 총 내부에서 필라멘트를 가열하여 빔 전자를 발생시킵니다.

2. 전자는 수직이동 경로를 갖고 Column을 통과합니다.

3. 전자기렌즈(진속렌즈, 콘덴서렌즈)로 아래방향으로 집속 되도록

빔 경로를 제어합니다.

4. 전자가 샘플에 충돌하면 표면에 2차 전자, 후방산란전자 등 발생됩니다.

5. 이를 신호로 변환, 화면으로 보내면 이미지로 변환됩니다.

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