쎄크 SEM이미지 생성방법

쎄크 SEM이미지 생성방법

 

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이번시간에는 쎄크의 엑스레이 기술 중!

SEM이미지생성방법에 대해 알아보겠습니다.

 

그 전에 SEM이란 (Scanning Electron Microscope)의 약자로

Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서

Sample과의 상호작용에 의해 발생된 SE(Secondary Electron)를 이용해서

Sample의 표면을 관찰하는 장비입니다.

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그렇다면 SEM으로 이미지를 생성하는 방법은 어떻게 될까요?

전자빔으로 확대 관찰할 영역을 스캔 후

TV 스크린에 전송하면 이미지가 생성됩니다.

전자빔을 반사시켜 패턴을 형성한다는 점이 CRT의 주사 형태와 동일한데요

시료 위에서 수평 1000개의 점, 수직 1000개의 라인을 형성하며

전자 빔 주사하여 백만 개의 정보를 제공합니다.

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TV스크린에도 동일한 형태로 백만 개의 점이 형성되므로

시료의 주사 표면과 TV화면은 1:1 대응이 됩니다.

주사영역은 TV스크린보다 작으므로 배율=TV 주사길이/전자 빔 주사

길이 의 식으로 계산이 된답니다.

TV스크린 크기를 고정하면 전자 빔 스캔 영역이 작을수록 배율은 더욱 높아집니다.

 

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