시료실 내부와 시료 준비 과정 알아보기!

안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조·검사장비 전문기업 쎄크입니다.

오늘은 Mini-SEM의 이해 중 시료실 내부와 시료 준비 과정에 대해 알아보도록

하겠습니다.

 

 

 

 

시료실 내부

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위 사진은 시료실 내부 사진으로 좌측은 Chamber 내부의 렌즈, 우측은 각종

검출기 입니다.

- SE Detector : 2차 전자를 검출, 깨끗하고 초점이 정확한 화면 획득

- BSE Detector : 후방 산란 전자를 검출, 샘플의 각각의 성분에 대하여 흰색부터

  검은색까지의 명암으로 완벽하게 구분해 줍니다.

- EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) Detector, EDX, EDAX : 에너지의

  함수로 특성 엑스선을 검출하며, 에너지의 세기는 물질이 갖는 고유한 값이므로

  성분 분석이 가능합니다.

 

 

 

 

시료 준비 과정

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- 준비된 샘플을 시료 대에 장착하고 스테이지 위에 고정합니다.

- 비전도성 샘플은 일반적으로 전도 성 소재로 코팅하고 시험합니다.

 

- 일반 SEM은 샘플 준비에 있어서 세가지 사항이 필요합니다.

 

 1. 진공 환경중에 증발할 수 있는 모든 수분과 솔벤트, 기타 성분들을 제거한다.

 2. 시료를 견고하게 고정한다.

 3. 벌레, 식물, 손톱, 세라믹과 같은 비금속 시료는 코팅을 통하여 전도성으로

     만들어 준다. 금속시료는 SEM에서 바로 관찰이 가능하다.  

- 시료 대는 시편으로부터 방출되는 후방산란 전자 및 엑스선 신호와 간섭을

  일으키지 않는 재질이어야 하며, 청정한 상태로 유지해야 합니다.

 

 

 

 

Sputter Coater

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- Sputter Coater는 비금속 생물, 즉 벌레, 식물, 머리카락 등에 박막 골드 코팅을

  하는 장비입니다.

- 샘플을 전도 성으로 만들어 SEM관찰이 가능하도록 해주는 장비에요!

 

오늘은 시료실 내부와 시료준비과정에 대해 알아봤는데요!

더 자세한 내용이 궁금하신 분들은 쎄크 홈페이지 상담을 통해 알려드리고

있습니다. 쎄크 홈페이지를 방문해 주세요^^