진공의 이해와 활용에 대해 알아보기

안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조 · 검사장비 전문기업 쎄크입니다.

오늘은 진공의 이해와 활용에 대해 알아보도록 하겠습니다.

 

 

 

 

진공의 이해

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- SEM을 사용하기 위하여는 컬럼 내부와 샘플은 진공상태이어야 합니다.

- 진공환경이란 대부분의 공기분자들이 전자현미경 내부에서 제거된

  상태를 의미합니다.

- 밀도의 개념으로 진공을 설명하면 주어진 공간상에 특정한 숫자의 가스 분자만

  있는 경우로 예를 들면 미국 내에 국민이 2.4억이고 이것을 대기압의 밀도라

  가정하면 SEM내부의 가스 분자의 밀도는 미국 내에 한 사람이 사는 것과 견줄

  수 있습니다.

- SEM에 진공을 유지하는 이유는 필라멘트의 연소, 가스분자의 시료와의 반응,

  주사되는 전자와 가스 분자간의 충돌에 의한 이미지 품질 저하를 피하기

  위함입니다.

 

 

 

 

진공의 활용

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- 샘플이 가스 환경에 있게 되면 빔의 불안정도가 높아져 전자 빔의 발생, 유지가

  불가능 해집니다.

- 가스는 전자소스(필라멘트)와 반응하여 연소시키고, 전자의 이온화로 불규칙적인

  방전을 하거나, 빔의 안정도를 저하시킵니다.

- 전자 빔이 전자 광학계 Column을 통과 시 가스 분자들에 의해 방해를

  받기도 합니다.

- 이물질 분자들이 샘플이나 전자 현미경 자체로부터 나올 수 있으며, 샘플 상에

  분말이나 응고 된 형태로 존재할 수 있습니다.

- 이는 명암대비를 저하시키고, 이미지의 상세 부분을 흐리게 합니다.

- 진공 환경은 샘플 준비 부문에서도 필요합니다. 일레가 Sputter Coater 입니다.

- 샘플을 코팅 시 코-터 내의 진공을 유지하며 가스 분자는 알곤과 골드를 증착하게

  됩니다.

- 진공을 유지하지 않으면 불 균일 코팅이나 코팅 불가의 원인이 됩니다.

 

 

여기까지 진공의 이해와 활용에 대해 알아보았습니다^^

궁금한 사항이 있으신 분들은 쎄크 홈페이지로 문의 부탁드립니다.