쎄크의 Mini-SEM 전자 빔 주사 원리, 전자, 시료간의 작용

안녕하세요^^, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다.

주사전자현미경(SEM) 이미지를 생성할 때 제일 먼저 전자 빔으로 확대

관찰할 영역을 스캔하게 되는데요! 주사전자현미경은 전자빔이 샘플의 표면에

주사하면서 샘플과의 상호작용에 의해 발생된 SE(Secondary Electron)를

이용해서 샘플의 표면을 관찰하는 장비입니다.

그러므로 주사전자 현미경에서 전자빔은 절때 빠질 수 없는데요!

오늘은 전자 빔 주사 원리와 전자, 시료간의 작용에 대해 알려드리려 합니다.

 

 

 

 

전자 빔 주사 원리

---

• WD(Working Distance)가 작고 큰 두가지 경우의 focusing 조건
 

• 동일한 집속 렌즈와 어퍼쳐에서 렌즈에서 샘플이 멀어질수록

- WD값 S가 증가합니다.

- 전자 빔 집속률이 줄어듭니다.
- Spot 크기가 커집니다.

- 발산각도 a가 줄어듭니다.

 

• 집속률이 줄어드는 현상은 렌즈에 전류가 줄어들 때 발생하며

  초점거리 f를 증대시킵니다.
 

• 시료의 해상도는 WD가 커지면서 Spot Size 가 커지는 관계로 저하됩니다. 
 

• WD가 늘어나면 발산 각이 적어지므로 초점 심도는 깊어집니다.

 

 

 

 

전자, 시료간의 작용

---

 

● 입사 빔이 샘플에 충돌하면 광 양자와 다양한 전자 신호들이 검출됩니다.

 

  - 엑스레이 두께, 성분 정보

  - 후방 산란 전자 : 원자번호, 정밀 이미지

  - 음극 냉광 : 전기적인 정보

  - Auger 전자 : 표면의 정밀 성분 정보

  - 2차전자 : 정밀 이미지

  - 시편 전류 : 전기적인 정보

 

● SEM에 위의 모든 신호들이 나타나지만 주로 SE, BSE, 엑스레이만을

    선별해서 사용

 

 

지금까지 쎄크의 Mini-SEM 전자 빔 주사 원리와 전자, 시료간의 작용에 대해

알아봤는데요~

더 자세한 내용은 쎄크 홈페이지에 접속하면 확인하실 수 있답니다.