쎄크의 주사전자현미경 Mini-SEM 기술 소개 Ⅰ

안녕하세요^^, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다.

오늘은 쎄크의 주사전자현미경 Mini-SEM 기술에 대해

알아보는 시간을 갖겠습니다.

 

 

먼저 기술에대해 알아보기 전에 SEM이 무엇인지 아는것 부터가 중요한데요!

 

SEM은 Scanning electron microscop으로 주사전자현미경,

즉 광학현미경에 비해 분해능력이 우수한 현미경을 뜻합니다.

 

 

 

 

SEM 이미지 생성과정!

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- 전자빔으로 확대관찰 할 영역을 스캔 후, TV 스크린에 전송하면 이미지 생성.

- 전자빔을 반사시켜 패턴을 형성한다는 점이 CRT의 주사형태와 동일.

- 시료 위에서 수평1,000개의점, 수직1,000개의 라인을 형성하며 전자빔 주사하여

  백 만개 정보 제공.

- TV 스크린에도 동일한 형태로 백만개의 점이 형성 되므로 시료의 주사표면과

  TV 화면은1:1대응

- 주사영역이TV 스크린보다 작으므로 배율=TV 주사길이/전자빔 주사길이의

  식으로 계산.

- TV 스크린 크기를 고정하면, 전자빔 스캔영역이 작을수록 배율은 더욱 높아짐.

 

 

 

 

주사전자현미경 Scamming Electron Microscope

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- 음극(Electron Gun, Source ,Cathode, Filament) ▷ 전자빔 발생.

- 양극(Anode) ▷ 빔전자 가속.

- 집광렌즈(Condenser Lens) ▷ 빔전자 집속

- 스캔코일 ▷ 빔을 패턴상의 전후 방향조사

- 대물렌즈(Objective Lens) ▷ 샘플 표면빔의 focusing

- 샘플 ▷ 전자빔이 샘플에 충돌 후 2차 전자 발생

- 2차 전자 ▷ 검출기(SE Detector)로 수집, 전위차로 변환되어 증폭

- 증폭된 전압 ▷ 이미지의 Spot의 밀도를 유도

- 정밀이미지 ▷ 수천 개의 다양한 밀도를 갖는 Spot구성.

 

 

 

 

전자 빔 경로

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- 상단의 전자총 내부금속 필라멘트를 가열하여 빔전자 발생

- 전자는 컬럼을 통과하는 수직이동 경로를 갖음.

- 전자기 렌즈(집속렌즈, 콘덴서)로 아래방향으로 집속 되도록 빔경로 제어

- 전자가 샘플에 충돌하면 표면에 2차전자, 후방 산란 전자(BSE) 발생

- 이를 신호로 변환, 화면으로 내보내면 이미지가 된다.

 

 

오늘은 이미지 생성과정과 전자 빔 경로, 주사전자현미경에 대해 알아보았는데요!

다음 시간에는 Mini-SEM의 더욱 다양한 기술을 소개해 드릴께요!