주사전자현미경 (SEM)의 두가지 주요 원소 SE와 BSE를 알아봅시다.

 

 

안녕하세요^^ 글로벌 정밀 제조, 검사 장비의 대표기업 쎄크입니다.

이번 시간에는 주사전자현미경의 영상을 구현하는

두가지 주요 전자인 SE와 BSE에 대해 살펴보도록 하겠습니다.

SE (2차 전자)와 BSE (후방 산란 전자)는 서로 다른 에너지를 갖고 있는데요.

어떤 특징들을 가지고 있을까요? 쎄크와 함께 살펴보도록 하겠습니다.

 

 

 

 

● SE (Secondary Electron)

일반적으로 SE는 이차 전자 혹은 자유 전자를 말합니다.

금속면에 어느 정도 이상의 에너지를 가지고

가속된 전자를 충돌시킬 경우 금속 내부에 있는 전자가

그 에너지의 대부분을 흡수함으로써

일할 수 있는 에너지를 갖고 금속 바깥으로 방출됩니다.

이러한 현상을 2차 방출이라고 하고, 이때 금속에 충돌시킨 전자를

1차 전자 (Pirmary Electron), 충돌하면서 방출된 전자를 2차 전자 (SE)라고 합니다.

다시 2차 전자는 시료 이탈 후 저속으로 운동하면서

양으로 대전 된 Se Detector로 끌어 당겨지지요.

 

이러한 현상을 이용해서 진공 청소기가 입자를 빨아들이듯이 전자를 수집하는데

평면과 모서리까지도 발생된 전자를 수집하기 때문에

2차 전자 상은 요철에 의한 정보로

입체적인 이미지를 볼 수 있다는 특징이 있습니다.

2차 전자는 비교적 에너지가 낮으면서 표면 형상에 대한 상세한 정보를 제공하고

검출기 제작 비용도 저렴하며 제어 및 동작도 쉬운 편이기에

SEM의 기본 검출기로 사용되고 있습니다.

 

 

 

 

● BSE (Back Scattered Electron)

SE처럼 전자를 충돌시켰을 때 금속 내부의 전자가

에너지의 대부분을 흡수하고 반사 또는 산란되어 튀어나오는데,

SE와 달리 핵을 선회한 후에도 속도가 줄지 않고

시료 표면 밖으로 방출되는 전자를 BSE라고 합니다.

모든 원소는 원자핵의 크기가 다르고 커질수록 BSE 숫자도 늘어나는데

이것으로 샘플 상의 다른 원소들을 구분해 주는 역할을 합니다.

 

지금까지 주사전자현미경 (SEM)의 영상을 구현하는

두 개의 주요 전자 SE (2차 전자), BSE (후방 산란 전자)에 대해

쎄크와 함께 살펴보았습니다. 감사합니다.