쎄크의 주사전자현미경 활용 예

안녕하세요^^, 산업용 X-ray, 주사전자현미경 등 검사 · 분석용 장비를 개발 및 생산하는 국내 최고의 검사장비회사 쎄크입니다.

쎄크의 주사전자현미경(SEM)은 의료, 생명과학, 곤충, 식물 등 다방면에서

활용되고 있는데요! 오늘은 쎄크의 주사전자현미경(SEM)이 어떤곳에 활용되는지 알려드리도록 하겠습니다.

 

 

 

 

반도체 직접소자

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최초의 반도체 트랜지스터는 1947년에 미국의 벨 연구소에서 발명되었습니다.

게르마늄 결정으로 만든 이 트랜지스터는 크기가 어린아이의 주먹하나 정도였는데, 이후 트랜지스터 제조 방법은 비약적으로 발전하여 오늘날에는 트랜지스터의 크기가 마이크로미터 단위로 작아졌으며, 손톱만한 기판에 백만개 이상의 트랜지스터를 넣을 수 있게 되었답니다.

주사 전자 현미경은 이러한 고집적 반도체 소자를 제작하고 점검하는데

필수적으로 사용되고 있습니다.

 

 

 

 

성분분석

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빠른 속도의 전자가 시료에 충돌하면 X 광선이 발생하는데, 시료의 종류에 따라

다른 X 광선이 발생하므로 주사 전자현미경에서 나오는 X 광선을 측정하면 시료가 어떤 물질로 만들어졌는지 알 수 있답니다.

주사 전자현미경으로 전자를 시료에 충돌시켜 시료의 모양을 높은 배율로 관찰할 수 있을 뿐만 아니라, 전자가 부딪친 위치에서 발생하는 x 광선을 측정하면 그 위치에 어떤 물질이 있는지도 알 수 있는 것이랍니다.

 

광학 현미경 측정으로는 월광석이 어떤 종류의 광물로 만들어졌는지는 알 수 없습니다. 월광석을 주사 전자현미경으로 관찰하면 광학 현미경보다 훨씬 높은

배율로 구조를 자세하게 파악할 수 있을 뿐만 아니라 월광석이 어떤 물질로 만들어졌는지 그리고 그 물질이 어떻게 분포하고 있는지도 알 수 있습니다.

 

 

 

[ 출처 : Collaborative Innovation Network 블로그 ]

 

 

초미세가공

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전자현미경의 전자 다발은 지름이 수십 나노미터 정도로 가늘기 때문에 전자를 쪼여서 마이크로미터보다 작은 크기의 물체를 만들 수 있습니다.

실리콘은 단단하여 전자선으로 직접 모양을 새길 수 없기 때문에 실리콘 기판에 고분자 막을 얇게 바르고 이 고분자 박막에 전자선을 쪼여서 모양을 새기고, 모양이 새겨진 고분자 박막을 약품에 담그면 전자선으로 쪼인 부분만 녹아 없어져서 좁은 틈이 생기는데요, 시료를 다시 실리콘을 녹이는 약품에 담그면 좁은 틈새로 약품이 들어가 실리콘을 녹입니다. 작업이 끝난 후 고분자 박막을 제거하면 처음에 전자선으로 고분자 박막에 새긴 모양이 실리콘 표면에 남는답니다.

그림은 위와 같은 방법으로 실리콘 기판에 전자선으로 새겨서 만든 초소형 톱니바퀴와 톱니바퀴를 연결하는 체인을 주사 전자현미경으로 찍은 사진이랍니다.

그림에 보이는 톱니바퀴 하나의 실제 크기는 약 100 마이크로미터이며, 이 톱니바퀴들은 실제로 움직이는 작은 기계의 부품으로 사용되는데요, 앞으로 만들어질 나노 로봇에 사용될 부품은 이런 방법으로 만들어질 것입니다.

 

 

지금까지 쎄크의 주사전자현미경 활용 예를 설명해 드렸습니다^^

쎄크는 다양한 종류의 주사전자현미경을 취급하고 있는데요!

쎄크 홈페이지(http://www.seceng.co.kr/)를 방문하시면 다양한 종류의

주사전자현미경을 확인하실 수 있습니다.