쎄크에서 알려드리는 전자현미경의 종류

안녕하세요^^, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다.

전자현미경의 종류에는 크게 쎄크에서 취급하는 주사전자현미경(SEM)과

투과전자현미경(TEM)이 있는데요, 오늘은 이 두 현미경에 대해 소개해 드릴께요.

 

 

 

 

SEM (Scanning Electron Microscopy, 주사전자현미경)

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10-5 Torr 이상의 진공 중에 놓여진 시료표면을 1-100 nm 정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자,

투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에

확대상을 표시하며, 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성,

정량 등의 분석하는 장치입니다.

주로 금속 등 도체, IC, 산화물 등 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 됩니다.

자기렌즈를 이용하여 전자빔을 가늘게 집속하며, 이를 시료면 위를 주사함으로써

발생하는 이차전자를 검출합니다.

이차전자의 양은 표면의 물질과 표면의 굴곡에 따르기 때문에 표면의 미세한

확대상을 얻을 수 있습니다. 배율은 시료면 위와 형광면(모니터) 위의 주사 진폭의 비로 정해집니다.

SEM의 분해능은 전자빔을 가늘게 만들수록 높아지는데 보통은 3~5 ㎚ 정도로

쓰인답니다.

 

 

[ 출처 : 네이버 지식백과 ]

 

 

TEM (Transmission Electron Microscopy, 투과전자현미경)

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TEM은 필라멘트에서 나온 전자를 가속하여 양극의 구멍을 빠져 나온 전자빔을

얇게 자른 시편에 통과시켜 상을 얻고. 그 상을 전자렌즈로 차례차례 확대하여

(대물·중간·투영의 3단 렌즈) 마지막 단계의 상을 형광판에서 관찰하고 카메라로

찍습니다. 전자빔의 통로는 물론 모두 진공으로 되어 있는데요, 직류전류를

조절하면 렌즈의 세기(초점거리)가 달라진답니다.

 
시료는 앞뒤 좌우로 옮겨 바라는 지점을 찾아 배율을 적당히 택하여 관찰하고

촬영합니다. 높은 배율의 경우에는 고도의 숙련도가 요구되는데요, 시료의 두께가 100㎚를 넘으면 전자빔이 거의 투과하지 못하여 윤곽밖에 보이지 않으므로 내부

구조를 보려면 더 얇게 만들어야 합니다.

금속 덩어리를 얇은 조각의 시료로 자르는 데에는 전해연마법이 쓰이는데요, 이렇게 얻은 시료에서는 여러 가지 격자상의 결함이 관찰됩니다. 생물의 조직의 경우 고정시켜서 유리나 다이아몬드칼로 아주 얇은 조각으로 자르는데요, TEM으로 직접 표면을 볼 수는 없으나 표면의 굴곡을 얇은 막에 찍어서 볼 수는 있답니다.

 

 

지금까지 전자현미경의 종류에 대해 알아봤습니다.

쎄크에서는 주사전자현미경(SEM)을 취급하고 있는데요!

쎄크 홈페이지에 들어오시면 다양한 주사전자현미경을 만나 보실 수 있답니다.

http://www.seceng.co.kr/  ←쎄크 공식 홈페이지