기술정보 (43) 썸네일형 리스트형 주사전자현미경의 구조 안녕하세요, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 어제에 이어 주사전자현미경의 구조에 대해 알려드리려고 합니다. 축조정 코일 전자총의 중심축과 집속렌즈의 중심축이 기계적으로 위치가 흩어져 있으면 전자총에서 방사되어 집속렌즈에 들어가는 전자선이 어긋나게 됩니다. 이는 렌즈의 수차발생의 원인이 되며 분리능을 떨어뜨리게 되는데, 이때 전자총의 음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해 X-Y축방향으로 적당량을 편향하여 집속렌즈의 축에 일치하게 하는 기능을 말합니다. 주사코일 주사 코일은 집속렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하여 전자선을 대물렌즈 중심의 한 점에 편향시키는 역할을 하는 것입니다. 이 점에서 대물렌즈에 의해 다시 확대되며 이를 전자선이 시간에 따라 왕복하게 하는 작용을 하게 됩니다. .. 주사전자현미경의 원리와 구조 안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조·검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 쎄크가 취급하는 주사전자현미경의 원리와 구조에 대해 알려드리려고 해요! 주사전자현미경의 원리 전자발생원(electron source)으로부터 전자선을 조사해 미소한 점으로 초점을 맞추고, 검출기로 미소점에서의 변화된 신호량의 대소를 브라운관 점의 명암으로써 영상시키는 방식입니다. 전자선이 조사될 때 후방 산란 전자(back scattered electron), 2차 전자(secondary electron), X선, 음극 형광 등이 발생됩니다. 발생한 전자는 검출기에 의해 전류신호로 변환되어 브라운관 위에 신호상으로써 영상화되는데, 이 중에서 2차 전자상이 가장 분리능이 높아서 가장 널리 사용됩니다. 다른 신호에 의한 상은 2차 전자상에.. 엑스레이검사기 전문기업 쎄크의 주사전자현미경과 EDS 안녕하세요^^, 엑스레이검사기 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 쎄크에서 취급하는 주사전자현미경과 EDS에 알려드릴께요! SEM(주사전자현미경)은 높은 에너지의 전자를 시료에 충돌시켜 발생하는 이차전자, 후방산란전자, X선 등을 검출하여 시료의 표면형상 및 구성원소를 관찰하는 나노측정기술의 하나인데요, 단순히 표면형상(topology)을 관찰하기 위해 이차전자 검출기(secondard electron detector)를 단독으로 사용하는 경우가 많지만 최근에는 다양한 검출기를 부착하여 동시에 복합적인 정보를 얻을 수 있기 때문에 활용도가 급증하고 있답니다. 실제로 SEM의 세계시장규모는 매년 10~12% 성장하고 있습니다. EDS(에너지 분산 X선 분광분석기)는 시료에서 발생되는 특성 X선을 실리콘 단결정의 .. SEM의 원리와 Column 및 Chamber 구조 안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조 · 검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 SEM(Scanning Electron Microscope) 주사전자현미경의 원리와 Column 및 Chamber 구조에 대해 설명해 드릴께요^^ SEM(Scanning Electron Microscope) 주사전자현미경의 원리 SEM(Scanning Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호작용에 의해 발생된 SE(Secondary Electron)를 이용해서 Sample의 표면을 관찰하는 장비입니다. 전자 빔을 시료에 주사하면 표면에서 발생한 2차 SE 전자를 검출하고 영상신호로 전환하여 이미지를 구현하는 원리입니다. SEM의 Column 및 Chamb.. 시료실 내부와 시료 준비 과정 알아보기! 안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조·검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 Mini-SEM의 이해 중 시료실 내부와 시료 준비 과정에 대해 알아보도록 하겠습니다. 시료실 내부 위 사진은 시료실 내부 사진으로 좌측은 Chamber 내부의 렌즈, 우측은 각종 검출기 입니다. - SE Detector : 2차 전자를 검출, 깨끗하고 초점이 정확한 화면 획득 - BSE Detector : 후방 산란 전자를 검출, 샘플의 각각의 성분에 대하여 흰색부터 검은색까지의 명암으로 완벽하게 구분해 줍니다. - EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) Detector, EDX, EDAX : 에너지의 함수로 특성 엑스선을 검출하며, 에너지의 세기는 물질이 갖는 고유한 값이므로 성분 분석이 가능합니다. 시료 .. 진공의 이해와 활용에 대해 알아보기 안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조 · 검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 진공의 이해와 활용에 대해 알아보도록 하겠습니다. 진공의 이해 - SEM을 사용하기 위하여는 컬럼 내부와 샘플은 진공상태이어야 합니다. - 진공환경이란 대부분의 공기분자들이 전자현미경 내부에서 제거된 상태를 의미합니다. - 밀도의 개념으로 진공을 설명하면 주어진 공간상에 특정한 숫자의 가스 분자만 있는 경우로 예를 들면 미국 내에 국민이 2.4억이고 이것을 대기압의 밀도라 가정하면 SEM내부의 가스 분자의 밀도는 미국 내에 한 사람이 사는 것과 견줄 수 있습니다. - SEM에 진공을 유지하는 이유는 필라멘트의 연소, 가스분자의 시료와의 반응, 주사되는 전자와 가스 분자간의 충돌에 의한 이미지 품질 저하를 피하기 위함입니다. 진공의 .. 후방 산란 전자란? 후방 산란 전자 이해하기! 안녕하세요^^, 검사장비 전문업체 쎄크입니다. 오늘은 후방산란전자(BSE : Backscattered Electron)에 대해 이해하는 시간을 마련했는데요! 먼제 후방산란이란 방사선이 물질과의 상호작용 결과, 그 입사 방향에 대하여 90˚ 이상의 각으로 산란되는 현상을 말하는데요! 음전하의 전자가 양의 핵에 끌리고 그 각도가 정면을 향하는 경우 중력으로 포획되는 대신 핵을 선회 후 속도가 줄지 않고 시료 밖으로 다시 튀어나가는 전자를 후방산란전자라고 합니다. 후방산란전자 ▶ 빔 전자들이 시료에 충돌하면 일부 전자들이 원자 핵과 상호 작용 ▶ 우주선이 행성의 중력 영향을 받는 것과 유사 ▶ 음전하의 전자가 양의 핵에 끌리고, 그 각도가 정면을 향하는 경우 중력으로 포획되는 대신 핵을 선회 후 속도가 줄지 .. 쎄크의 Mini-SEM 전자 빔 주사 원리, 전자, 시료간의 작용 안녕하세요^^, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다. 주사전자현미경(SEM) 이미지를 생성할 때 제일 먼저 전자 빔으로 확대 관찰할 영역을 스캔하게 되는데요! 주사전자현미경은 전자빔이 샘플의 표면에 주사하면서 샘플과의 상호작용에 의해 발생된 SE(Secondary Electron)를 이용해서 샘플의 표면을 관찰하는 장비입니다. 그러므로 주사전자 현미경에서 전자빔은 절때 빠질 수 없는데요! 오늘은 전자 빔 주사 원리와 전자, 시료간의 작용에 대해 알려드리려 합니다. 전자 빔 주사 원리 • WD(Working Distance)가 작고 큰 두가지 경우의 focusing 조건 • 동일한 집속 렌즈와 어퍼쳐에서 렌즈에서 샘플이 멀어질수록 - WD값 S가 증가합니다. - 전자 빔 집속률이 줄어듭니.. 이전 1 2 3 4 5 6 다음
