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주사전자현미경의 원리와 구조 안녕하세요^^, 글로벌 정밀제조·검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 쎄크가 취급하는 주사전자현미경의 원리와 구조에 대해 알려드리려고 해요! 주사전자현미경의 원리 전자발생원(electron source)으로부터 전자선을 조사해 미소한 점으로 초점을 맞추고, 검출기로 미소점에서의 변화된 신호량의 대소를 브라운관 점의 명암으로써 영상시키는 방식입니다. 전자선이 조사될 때 후방 산란 전자(back scattered electron), 2차 전자(secondary electron), X선, 음극 형광 등이 발생됩니다. 발생한 전자는 검출기에 의해 전류신호로 변환되어 브라운관 위에 신호상으로써 영상화되는데, 이 중에서 2차 전자상이 가장 분리능이 높아서 가장 널리 사용됩니다. 다른 신호에 의한 상은 2차 전자상에..
엑스레이검사기 전문기업 쎄크의 주사전자현미경과 EDS 안녕하세요^^, 엑스레이검사기 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 쎄크에서 취급하는 주사전자현미경과 EDS에 알려드릴께요! SEM(주사전자현미경)은 높은 에너지의 전자를 시료에 충돌시켜 발생하는 이차전자, 후방산란전자, X선 등을 검출하여 시료의 표면형상 및 구성원소를 관찰하는 나노측정기술의 하나인데요, 단순히 표면형상(topology)을 관찰하기 위해 이차전자 검출기(secondard electron detector)를 단독으로 사용하는 경우가 많지만 최근에는 다양한 검출기를 부착하여 동시에 복합적인 정보를 얻을 수 있기 때문에 활용도가 급증하고 있답니다. 실제로 SEM의 세계시장규모는 매년 10~12% 성장하고 있습니다. EDS(에너지 분산 X선 분광분석기)는 시료에서 발생되는 특성 X선을 실리콘 단결정의 ..
주사전자현미경으로 얻을 수 있는 정보 안녕하세요^^, 최고의 검사 장비회사 쎄크입니다. 그동안 주사전자현미경의 특징이나 활용 예등 여러 정보에 대해 알려드렸 었는데요! 오늘은 주사전자현미경(SEM) 으로 얻을 수 있는 정보에 대해 알려드리려고 해요^^ 주사전자현미경으로 재료의 표면형상, 적층 결함, 계면 등을 직접 관찰함에 따라 이들이 재료의 여러 성질들에 미치는 영향을 정확히 규명할 수 있습니다. 전자회절로써 결정의 결자상수와 대칭성 등을 규명할 수 있고, 분석전자현미경으로 운자의 종류와 양을 분석할 수 있습니다. 그리고 고 분해능 전자현미경으로 원자의 배열을 관찰할 수 있습니다. 이들 주사전자현미경 기술을 이용하면 원자의 종류와 위치를 원자 규모로 규명할 수 있고 따라서 이들이 재료의 성질에 미치는 영향을 규명하여 새로운 재료의 개발에 ..
X-ray 장비 전문기업 쎄크의 탁상형 주사전자현미경 소개 안녕하세요 산업용 X-ray 장비 전문기업 쎄크입니다. 쎄크에서는 산업용 X-ray 검사장비와 주사전자현미경 등 검사·분석용장비를 개발 및 생산하는데요! 오늘은 쎄크의 탁상형 주사전자현미경에 대해 소개해 드릴께요. Mini-SEM 최고 사양 SNE-4500M - 최대배율 10만배 구현 - 고 심도, 고 해상도의 수준 뫂은 영상 제공 가능 - Mini-SEM 5축 Stage 구축 (Tilt 축 구현) · X,Y(40mm), R(360˚), Z(0~35mm), T(0~45˚) - Variable Aperture(30, 50, 100, 200㎛) 장착에 따른 Beam spot size 조정으로 고 분해능 영상구현 - Focus, Contrast/Brightness, Spot Size, Stigmator 기능 ..
SEM 구성품 중 렌즈편! 안녕하세요^^, 검사장비 전문기업 쎄크입니다. 쎄크가 취급하는 주사전자현미경(SEM)은 전자총과 집속렌즈, 대물렌즈, 주사코일로 구성되어 있는데요! 오늘은 그 중 집속렌즈와 대물렌즈에 대해 소개해 드리려 합니다. 주사전자현미경의 렌즈 전자총에서 나오는 전자빔의 크기는 약 10∼50㎛로서 보통 2개의 집속렌즈와 1개의 대물렌즈를 이용하고, 시편에 주사되는 전자빔의 크기의 약 1/10000인 5∼200nm정도인데요, 전자빔이 가늘수록 표면의 모양을 더 자세히 관찰할 수 있답니다. 필라멘트에서 나오는 전자는 여러 방향으로 퍼져서 나오기 때문에 전자빔을 가늘게 만들려면 바깥쪽에 있는 전자를 안쪽으로 밀어 넣어야 하는데 전자현미경에서는 전자석(집속렌즈)을 이용하여 전자빔을 가늘게 만듭니다. 집속렌즈 집속렌즈는 전..
전자빔을 발생 및 가속시키는 전자총 안녕하세요^^, 검사장비 전문기업 쎄크입니다. 오늘은 주사전자현미경 컬럼부에서 전자빔을 발생 및 가속시키는 역할인 전자총에 대해 소개해 드릴께요~ 전자총 Electron Gun SEM의 컬럼부는 전자총, 집속렌즈와 대물렌즈, 주사코일로 구성되어 있는데요, 그 중 전자총의 역할은 전자를 만들고 가속시키는 역할을 합니다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급하는데요, 충분한 양의 이차전자를 생산할 수 있을 만큼 많은 양의 1차 전자를 만들되, 자기렌즈에 의해서 작은 빔을 효과적으로 형성하도록 고안되어 있습니다. 원자 내의 전자는 원자핵과의 전기력 작용에 의하여 특정 위치에서 일정한 에너지를 갖고 있기 때문에 전자가 상온에서 자기 위치를 벗어나 공중으로 방출되는 일은..
쎄크에서 취급하는 SEM의 구성 안녕하세요^^, 산업용 엑스레이 검사장비, 주사전자현미경 등 검사, 분석용장비를 개발 및 생산하는 국내 최고의 검사장비회사 쎄크입니다. 오늘은 쎄크에서 취급하는 여러가지 장비들 중 주사전자현미경의 구성에 대해 알아보는 시간을 갖겠습니다. 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이는 현미경 인데요! 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해 복잡한 표면구조나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비로 여로 곳에서 심도깊게 활용되어 왔습니다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, ..
쎄크에서 알려드리는 전자현미경의 종류 안녕하세요^^, 나노시대를 이끌어가는 e-beam 전문기업 쎄크입니다. 전자현미경의 종류에는 크게 쎄크에서 취급하는 주사전자현미경(SEM)과 투과전자현미경(TEM)이 있는데요, 오늘은 이 두 현미경에 대해 소개해 드릴께요. SEM (Scanning Electron Microscopy, 주사전자현미경) 10-5 Torr 이상의 진공 중에 놓여진 시료표면을 1-100 nm 정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석하는 장치입니다. 주로 금속 등 도체, IC, 산화물 등 반도체, 고..

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